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三思減振THA系列主動(dòng)減振器主要應(yīng)用于一些對(duì)微振敏感的高端檢測(cè)設(shè)備,針對(duì)于AFM和SEM而開(kāi)發(fā)的高端主動(dòng)減振器。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·輕巧便捷,安裝方便,無(wú)需氣源,接入電源即可使用
·手動(dòng)/自動(dòng)調(diào)節(jié)水平,操作簡(jiǎn)便
·6自由度振動(dòng)信號(hào)實(shí)時(shí)檢測(cè),執(zhí)行器提供推力,主動(dòng)衰減振幅
產(chǎn)品應(yīng)用:
顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等
傳遞率
產(chǎn)品特點(diǎn):
·三思自研的THA主動(dòng)減振系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)6自由度主動(dòng)減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合,在低頻范圍提供出色的隔振效果
產(chǎn)品應(yīng)用:
顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等
傳遞率
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品特性
1. 安裝方便,無(wú)需氣源,接入電源即可使用;
2. 手動(dòng)調(diào)節(jié)水平,操作簡(jiǎn)便;
3. 模塊化的主動(dòng)減振器,可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸,制作成各種平臺(tái);
4. 6自由度振動(dòng)信號(hào)實(shí)時(shí)檢測(cè),執(zhí)行器提供推力,主動(dòng)衰減振幅;
5. 實(shí)時(shí)監(jiān)控臺(tái)面振動(dòng)。
產(chǎn)品應(yīng)用
顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等
產(chǎn)品特性
1. THA3系列氣浮式主動(dòng)減振,為光刻機(jī)等運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)備而研發(fā),消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng);
2. 采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振,即使在安裝現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動(dòng)時(shí),也能確保持續(xù)的振動(dòng)穩(wěn)定性;
3.三思自研的THA主動(dòng)減振系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)6自由度主動(dòng)減振。地面振動(dòng)前饋與反饋控制相結(jié)合,提供出色的隔振效果;;
4. 運(yùn)動(dòng)前饋與速度反饋控制結(jié)合,有效消減平臺(tái)運(yùn)動(dòng)加速度,快速穩(wěn)定平臺(tái)振動(dòng);
5. 閥控氣動(dòng)調(diào)平系統(tǒng),可自由調(diào)整各減振器高度,一鍵啟動(dòng)減振。
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體設(shè)備,及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等
顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備或微動(dòng)設(shè)備