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半導(dǎo)體設(shè)備是指光刻機(jī)、晶圓檢測設(shè)備等,這類設(shè)備的精度要求都非常高,對振動均非常敏感,通常需求主動減振器才能滿足要求,也有檢測類設(shè)備被動減振器即可滿足。這類設(shè)備的減振器是標(biāo)配產(chǎn)品,減振器能抑制振對設(shè)備運(yùn)行的影響,保證設(shè)備的穩(wěn)定性和納米精度要求。
半導(dǎo)體設(shè)備如何選擇減振器
在選擇減半導(dǎo)體減振器設(shè)備之前,首先要了解周邊的環(huán)境和設(shè)備的詳細(xì)參數(shù)。只有將這些因素整理清楚,才可以進(jìn)行減振器的選型,當(dāng)然對于安裝的時候才能夠更好的去做到細(xì)節(jié)上的安裝,設(shè)備減振器的使用帶動的是不斷的環(huán)境上的改善, 將所有的減震細(xì)節(jié)和環(huán)境進(jìn)行相結(jié)合,給出的是更多的方案,對于工業(yè)生產(chǎn)中的安裝來說是非常的重要的。
三思THA系列主動減振器
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 輕巧便捷,安裝方便,無需氣源,電源接入,即插即用
· 手動調(diào)節(jié)水平,簡捷操作,節(jié)省成本· 可實(shí)時監(jiān)控
產(chǎn)品參數(shù)
半導(dǎo)體生產(chǎn)對于設(shè)備減振器的需求是很大的,因?yàn)榛旧厦恳粋€半 導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)都是用到了設(shè)備減振器的,而好的設(shè)備減振方案和好的設(shè)備減振器是能夠帶動生產(chǎn)環(huán)境的良好發(fā)展,對于半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展也是相當(dāng)?shù)闹匾?
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