振動是指在基準(zhǔn)位置上產(chǎn)生的機(jī)械式搖動，也就是說，構(gòu)造物或地板等受動態(tài)外力之后，隨著時(shí)間推移，開始從運(yùn)動平衡位置產(chǎn)生重復(fù)運(yùn)動的現(xiàn)象。在各種振動中，地基振動是我們能夠感覺到的較重振動，但也有很多我們在日常生活中難以感知的微細(xì)振動，這種微細(xì)振動會給半導(dǎo)體工程設(shè)備、電子顯微鏡、精密測量器、光學(xué)及光學(xué)相關(guān)機(jī)器之類對振動敏感的超精密設(shè)備性能帶來影響。