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光學(xué)平臺作為當(dāng)代精密實(shí)驗(yàn)不可缺少的一種設(shè)備,在光學(xué)研究中的應(yīng)用具有非常大的潛力。使用光學(xué)平臺為各類精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)提供一個穩(wěn)定的振動隔離環(huán)境,已經(jīng)是光學(xué)實(shí)驗(yàn)室的重要組成部分。
減振是工程上防止設(shè)備振動危害的主要手段。設(shè)備減振可分為主動減振和被動減振。
橡膠減振器在工業(yè)行業(yè)中是一種重要的減振元件,很多機(jī)械設(shè)備比如水泵、柴油發(fā)電機(jī)、風(fēng)機(jī)、空壓機(jī)等都缺不了橡膠減振器。橡膠減振器之所以被廣泛應(yīng)用,主要是擁有這些特性:
半導(dǎo)體設(shè)備是指光刻機(jī)、晶圓檢測設(shè)備等,這類設(shè)備的精度要求都非常高,對振動均非常敏感,通常需求主動減振器才能滿足要求,也有檢測類設(shè)備被動減振器即可滿足。這類設(shè)備的減振器是標(biāo)配產(chǎn)品,減振器能抑制振對設(shè)備運(yùn)行的影響,保證設(shè)備的穩(wěn)定性和納米精度要求。